X線顕微鏡

X線顕微鏡（Xせんけんびきょう）とは、X線をプローブとして観察する顕微法の総称である。

概要

可視光に比べて波長の短いX線を使用するため、空間分解能が高い画像を得ることができる可能性があり、注目されている。観測法としては結像型・走査型が、観測手段によりX線吸収・位相変化・蛍光X線などの利用がある。強度の強い光源が必要となるため、主にシンクロトロン放射光を利用して発達している。用いられる光学素子として最も代表的なのはゾーンプレートである。現在の分解能は 15 nm が最高値である。

用途

• 材料研究
• 生物学
• 半導体

脚注

参考文献

• 木原裕, 若林克三, 「X線顕微鏡」『生物物理』 1984年 24巻 4号 p.178-182, doi:10.2142/biophys.24.178
• 青木貞雄, 「X線顕微鏡」『精密工学会誌』 57巻 7号 1991年 p.1151-1154, doi:10.2493/jjspe.57.1151
• 矢田慶治, 篠原邦夫, 「軟X線顕微鏡の発達」『生物物理』 33巻 4号 1993年 p.198-206, doi:10.2142/biophys.33.198
• 木原裕, 「X線顕微鏡」『BME』 11巻 7号 1997年 p.37-43, doi:10.11239/jsmbe1987.11.7_37

関連項目

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• 電子顕微鏡
• X線回折
• 顕微鏡