電子移動度

電子移動度（でんしいどうど、electron mobility）とは、固体の物質中での電子の移動のしやすさを示す量である。易動度ともいう^[1]。

単に移動度という場合は、キャリアの移動のしやすさを示す。半導体の場合、キャリアとは、電子および正孔のことである。

定義

物質に電場E をかけたとき、電場によって電子（もしくは正孔）が平均速度v で移動したとき、次式で定義される。

${\displaystyle {\boldsymbol {\mathit {v}}}=\mu {\boldsymbol {\mathit {E}}}}$

キャリアの電荷をq 、電子の有効質量をm^*、電子の緩和時間を${\displaystyle \tau }$とすると 移動度は、次式で算出される。

${\displaystyle \mu \equiv q\tau /m^{*}}$

半導体工学における移動度の意味

移動度は、抵抗率に反比例する。すなわち、抵抗率を${\displaystyle \rho }$、キャリア密度をnとすれば

${\displaystyle {1 \over \rho }=qn\mu }$

このため、移動度は物質の電気的特性を決める重要なパラメーターである。

脚注